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HMDS气相成底膜烘箱 真空HMDS气相烘箱
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上海隽思实验仪器有限公司（以下简称“隽思仪器”）是一家专业从事仪器设备研发、生产、销售及服务的企业。主要生产半导体工艺设备、环境模拟仪器设备、线缆试验机、橡塑试验检测设备、黑蒜设备等的高新技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优质的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售前、售中、售后服务。赢得了国内外客户的*好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！
隽思仪器主要业务有HMDS预处理系统，HMDS烘箱，洁净烤箱，百级洁净烘箱，氮气烘箱，高温无氧烘箱，真空无氧烘箱，无尘无氧化烘箱，抗粘剂涂胶机，精密恒温加热台，快速高低温气流仪，超低温试验箱，高低温试验箱，高低温交变湿热箱定做，HMDS真空涂胶烘箱，低温脆性检测仪，黑蒜发酵设备，导体直流电阻测试仪，电线电缆检测仪器，真空烘箱，黑蒜试验机，橡塑检测试验机等。
不断追求技术进步、提升专业服务能力，做一个专业的仪器设备供应商是我们的发展目标。企业内部实施了CRM、ERP项目管理，在产品开发、质量控制、集成供应链、人力资源管理、财务管理等诸多方面取得了长足发展。同时建立了标准化的服务流程，形成了覆盖全国的快速服务网络，以尽心尽责的服务理念和完备的技术得到用户的*称赞。我们将珍视每一次与您合做的机会，以饱满的热情、真诚的服务与您共创灿烂的未来！
详细信息
在集成电路制造的光刻工艺中，为了保证光刻胶在晶圆处理过程中更好的完成图形转移，需要在晶圆上行喷涂hmds预处理的工艺，将晶圆表面亲水性的置换为疏水性的，使晶圆表面接触角达到65或更高。
HMDS 可以通过旋转稀释溶液直接涂在晶片上，并允许 HMDS 旋转干燥（HMDS 在室温下非常易挥发）。如果 HMDS 不适当干燥，则会导致显着的附着力损失。虽然直接旋涂很容易，它仅在置换一小部分硅烷醇基团时有效。迄今为止，施加增粘剂的优选方法是将基材置于 HMDS 蒸汽中，通常是在升高温度和降低压力下。这样在没有过多 HMDS 沉积的情况下对基材进行良好的涂覆，并且更高的温度会导致与硅烷的反应更好。用 HMDS 正确处理后，基材可以放置数天而不会明显重新吸附水。在同一HMDS气相成底膜烘箱中进行脱水烘烤和蒸汽灌注可提供性能。
HMDS气相成底膜烘箱 真空HMDS气相烘箱适用产品
硅片、磷化铟lnP、砷化镓GaAs、铌酸锂LiNbO₃、硫化锌ZnS、掩膜版、玻璃、石英片、蓝宝石、晶圆、碳化硅等第三代、第四代半导体材料等。
HMDS气相成底膜烘箱 真空HMDS气相烘箱性能
HMDS药液泄漏报警提示
HMDS低液位报警提示
工艺数据记录功能
药液管道预热功能
程序锁定保护等功能
产品兼容性：1-12寸产品、方片、碎片及大型面板（可定制）
温度范围：RT-200℃
真空度：1torr
操作方式：人机界面，一键运行
HMDS控制：可控制HMDS 药液添加量
真空泵：无油涡旋真空泵
附件功能：图像反转功能
