SU-8光刻台式工作站涵盖您在实验室加工微流体模具所需要的一切组件，即使没有超净间，凭借该工作站，您也可以加工出来具有与超净间相同的分辨率的模具。SU-8模具工作站可以缩短芯片加工的总时间。

SU-8模具加工站是一个交钥匙的产品，wu需购买任何其他设备。基本上仅需要一个化学通风厨和少量的工作空间。我们也可以根据您实验室内现有的设备来调整报价。

优势&特点：
（1）为易用性设计，达到与超净室相同的图案分辨率
（2）易于通过面板或PC进行操作编程
（3）能够设置多种加速度和速度的复杂序列
（4）wu堵塞，延长使用寿命
（5）低振动，转速高达12000 rpm
（6）提供晶圆对中工具
（7）即使没有微流控加工的初步知识，也可以熟练的加工模具
 

（3）可编程UV灯系统

包括化学药品（SU-8，SU-8显影液、Omnicoat、异丙醇、丙酮等）和实验室配件（微量移液枪、计时器、玻璃器皿、封口膜、镊子、金刚石刮板、硅片、玻璃载玻片、一次性杯子、搅拌棒、等），以便为您提供完整的套件。 

可编程旋涂机：适用于软光刻应用的设备

该旋涂机结构紧凑，并且具有可编程功能。
它适用于直径?150 mm的晶圆和5” × 5”（127 mm × 127 mm）的基板。
此旋涂机经过微调，可加工可控和可重复的SU-8光致抗蚀剂层。

其紧凑的尺寸和附加的小控制面板使该设备实现真正的移动。该旋涂机已广泛应用于SU-8光刻胶涂层。盖子上的孔可以进行动态SU-8涂覆。通过蓝牙轻松连接到您的PC，您可以保存并命名您的实验配方。

主要优势：
（1）为易用性设计
（2）易于通过操作面板或PC进行编程
（3）能够设置多种加速度和速度的复杂序列
（4）wu堵塞，延长使用寿命
（5）低振动
（6）转速高达12000 rpm
（7）提供晶圆对中工具

可编程数码电热板：适用于软光刻应用的设备

确保准确、均匀且稳定的温度设定点。该数字式热板设备可设置温度斜坡以进行加热和冷却。通过可编程控件使您的生活更加轻松，这些控件可以实现光刻过程的自动化。

可编程热板的顶板和很大的加热表面积使它具有足够宽的区域，温度均匀，可以在4英寸的晶片上有效地烘烤SU-8光刻胶。温度斜坡使得能够减小光致抗蚀剂层内部的机械应力。可编程工具可进行长时间的光刻胶烘烤，而wu需停留在设备的面。

主要优势：
（1）加热和冷却的温度斜坡曲线
（2）4英寸晶圆的高温均匀性
（3）微处理器显示屏保持温度恒定
（4）小温度超调
（5）自动计时器
（6）光滑的铝板，易于清洁光刻胶

可编程UV灯系统：适用于软光刻应用的设备

du特的UV LED曝光和遮罩系统（可选），具有365 nm或者385 nm波长的可用光源。这是一种非常紧凑的台式系统，能够对直径大为4英寸的晶圆表面积进行曝光。该自动UV曝光系统与硬（物理）或软（接近）掩膜触点兼容，并具有可变的掩膜到基板距离的控制功能。

该UV曝光系统具有2μm的分辨率，特别适合软光刻应用。闪光曝光可以减少光刻胶的内部机械应力。其体积小巧，可将其安装在所需的任何位置，尤其是在洁净室之外。

主要优势：
（1）晶圆表面上方的wan美单色曝光（带宽低于10 nm）
（2）冷紫外线
（3）光线发散角＜2°
（4）强大的功率密度
（5）LED使用寿命长：超过1万小时，相当于8-10年的使用时间
（6）用户友好的触摸屏界面，可进行曝光周期编程
（7）wu需预热时间
（8）直观的UV光源强度控制
（9）自动化晶圆加载和卸载系统
（10）可与玻璃和塑料光罩一起使用
（11）在4英寸晶圆上具有很高的紫外线均匀度
（12）集成紫外线仪表

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由于每个实验室都是不同的，因此，每个研究都是du特的，所以我们会根据实际需求尽可能地调整报价。我们与您一起讨论什么是效率高的设备，从而增加或删除设备、配件、化学品等等。