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面议简介
Scia Finish 1500离子束抛光机用于高精度光学元件的表面抛光。该IBF系统采用高去除率、高稳定离子束源，配备高效真空系统，可用于24/7运行的批量生产。
常规属性
- 采用聚焦离子束轰击样品表面，通过控制离子束焦斑在局部区域的驻留时间，来实现表面材料的定量去除，从而实现抛光或表面修整
- 适合于大口径光学元件长期稳定抛光
- 专用高效离子源保证大面积的高精度抛光
- 加工效率高
- 真空仓滑动门设计，可轻松装载大型基板
- 针对批量生产的设计，真空恢复用时短
系统性能
