大口径磁控溅射镀膜机 Magna 700
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大口径磁控溅射镀膜机 Magna 700

Magna 700大口径磁控溅射镀膜机 Magna 700

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-07-06 14:48:25
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北京欧唐科技发展有限公司

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简介sciaMagna700磁控溅射镀膜系统是专门为高精度光学多层膜制造而设计的，在直径为Φ680mm以内的平面或曲面基底上，镀制超过100个周期的超薄多层膜，可以镀高精度均匀膜或渐变膜

详细介绍

简介



scia Magna 700 磁控溅射镀膜系统是专门为高精度光学多层膜制造而设计的，在直径为Φ680mm以内的平面或曲面基底上，镀制超过100个周期的超薄多层膜，可以镀高精度均匀膜或渐变膜。配以自动化的样品装载loadlock机构，可以缩短装载时间并提高产能。


常规属性



- 磁控溅射技术利用等离子体离子轰击溅射靶材，从而在样品基底表面沉积薄膜

- 利用同步样品公转和自转在曲面衬底上形成均匀或梯度薄膜

- 有6个磁控源，每个磁控源都有单独的外壳，以独立供气并设定各自的粒子溅射曲线

- 可选预处理离子源

- 带有loadlock的样品载具操作机构，具有2个独立的样品工位

- 样品面朝下装载，以减小粒子污染


系统性能


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