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半导体百级洁净烘箱,芯片百级烤箱概述
半导体百级洁净烘箱,芯片百级烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
特点
Ø 在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100;
Ø 全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
Ø 采用单面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100;
参数
Ø 进风口:φ6mmN2进气、流量计控制;
Ø 排风口: φ3”排风管(外接φ5"法兰);
Ø 电源:480v , 50Hz,15KW ,电源供应器为UL/FM/CE或3C认证,并有过
Ø 电流保护装置;
Ø 网板:5层,2mmt不锈钢版加工四周内向折成10mm的圆孔承托盘 , 单层
Ø 层载重量可需承重50kg;
Ø 洁净度:100级的洁净热处理HEPA过滤器与前出风水平层对流循环方式实
Ø 现并保证箱内的温度分布的均匀性与100级洁净度。
温度控制器
Ø 彩色触摸屏控制器TEMI360
a) 控制器:彩色触摸屏;
b) 显示器:3.5英寸TFT彩色LCD显示器;
c) 输出方式:PID控制输出;
d) 运行方式:程序方式、定值方式;
e) 设定方式:中/英文菜单,触摸屏方式输入;