半导体百级洁净烘箱,芯片百级烤箱 工业烘箱

半导体百级洁净烘箱,芯片百级烤箱 工业烘箱

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-06-23 09:24:01
1650
属性:
工作电压:220/380v;功率:4kw;
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工作电压
220/380v
功率
4kw
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上海隽思实验仪器有限公司

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产品简介

半导体百级洁净烘箱,芯片百级烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

详细介绍

半导体百级洁净烘箱,芯片百级烤箱概述

半导体百级洁净烘箱,芯片百级烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

特点

Ø  在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100;

Ø  全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;

Ø  采用单面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100;

参数

Ø  进风口:φ6mmN2进气、流量计控制;

Ø  排风口: φ3”排风管(外接φ5"法兰);       

Ø  电源:480v , 50Hz,15KW ,电源供应器为UL/FM/CE或3C认证,并有过

Ø  电流保护装置;   

Ø  网板:5层,2mmt不锈钢版加工四周内向折成10mm的圆孔承托盘 , 单层

Ø  层载重量可需承重50kg;

Ø  洁净度:100级的洁净热处理HEPA过滤器与前出风水平层对流循环方式实

Ø  现并保证箱内的温度分布的均匀性与100级洁净度。

温度控制器

Ø  彩色触摸屏控制器TEMI360

a)   控制器:彩色触摸屏;

b)   显示器:3.5英寸TFT彩色LCD显示器;

c)   输出方式:PID控制输出;

d)   运行方式:程序方式、定值方式;

e)   设定方式:中/英文菜单,触摸屏方式输入;

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