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程控式氮气洁净烤箱,四箱充氮烘箱说明
可程式洁净烘箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。烘箱内部为不锈钢结构,全部采用无尘材料,箱内持续充氮,使烘箱工作室内处于洁净状态。工作室内温度由温控仪自动控制,可设定定值运行、程序(曲线)运行自由切换,并有自动恒温及时间控制,并附设有超温自动停止加热及报警电路,控制可靠,使用安全。
程控式氮气洁净烤箱,四箱充氮烘箱技术指标:
2.1温度范围: RT(室温)+15~200/300/400/500/600℃;
2.2温度均匀度:≤±1.5%℃;
2.3升温速度: 0-15℃/min;
2.4热风循环方式:水平送风
2.5工作尺寸:
D350×W350×H350mm
D500×W500×H500mm
D500×W600×H700mm
D600×W600×H800mm
D1000×W1000×H1000mm
D1200×W1400×H1200mm
......
多尺寸定制
2.6箱体数:1.2.3.4.6.8
2.7 运行方式:定值、程式
3、箱体结构:
3.1箱体材料:外箱采用优质冷轧板烤漆或不锈钢;
3.2内室材料:采用SUS304#、316L无磁性镜面不锈钢;
3.3保温材料:超细陶瓷纤维;
3.4排 气 口:ф50,位于箱体侧方;
3.5 隔 板:2层,不锈钢板冲孔,承重约30KG;
3.6空气循环装置:大容量轴流电机;
3.7加热方式:不锈钢电加热器;
程控式氮气洁净烤箱用途
氮气洁净烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料烘烤、涂胶后坚膜烘烤,治具烘烤等;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、固化、热处理、老化试验,可靠性试验等其他高温试验。
选配功能:
洁净度:百级(class100)无尘
氧浓度:20ppm,可监测
降温功能:风冷、水冷
智能软件:MES,GEM等工业4.0智能工控