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前烘氮气烘箱,硬烘洁净烘箱用途
前烘可在热烘板或氮气烘箱中进行,本课题采用的热风烘箱为隽思氮气洁净烘箱,由于在鼓风烘箱中对流烘烤将会使前烘进行的更加均匀,所以在鼓风箱中前烘的效果将会更理想。
前烘是在涂胶结束后进行,它的作用有以下几个方面
驱赶胶中的溶剂
提高胶对衬底的黏附性
提高胶的抗腐蚀能力
优化胶的光学吸收特性
提高涂胶的均匀性
提高条宽控制能力
通过前烘,基片上的光刻胶基本固化。
前烘氮气烘箱,硬烘洁净烘箱性能:
洁净度:Class100;
温度:RT+15~200℃;
气体:N2
计时功能:0-99H99M99S
设备材质:内部SUS304不锈钢
工作尺寸(mm):
450×450×450
500×500×550
(可定制)
网板:活动式2块
前烘氮气烘箱,洁净烘箱适用性:
氮气烘箱也适用于IC封装、光刻胶固化、银胶固化、电子液晶显示、LCD、CMOS、MEMS、医药、实验室等生产及科研.
真空无氧固化炉,高温无氧烘箱技术参数
温度范围: RT ~300/450/550℃;
温度波动度:≤±1℃
升温速度:0-10℃/min;
降温方式:自然降温或风冷+水冷降温
氮气控制: 可调试流量计控制
氧含量检测:20~1000ppm
工作尺寸:W350×H350×D400,
高温无氧真空烘箱温控系统:
操作界面:人机界面+PLC,可一键运行,多个工艺编辑;
温度测量:K型热偶;
控制仪表:高精度温度控制器,PID调节,控制精度0.1℃,