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PMS 椭偏在线监测装备 紫外光谱仪
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自动化设备
沈阳科晶自动化设备有限公司是由毕业于美国麻省理工学院的江晓平博士于
2000年5月创建。与合肥科晶材料技术有限公司、深圳市科晶智达科技有限公司同属于科晶联盟。自*SYJ-150低速金刚石切割机诞生以来，沈阳科晶便开始了以赶超国外同行、材料分析设备潮流为目标的发展历程。时至今日，已经拥有涵盖材料切割、研磨、抛光、涂膜、镀膜、混合、压轧、烧结、分析等领域以及相关耗材的上百种产品，可以满足晶体、陶瓷、玻璃、岩相、矿样、金属材料、耐火材料、复合材料、生物材料等制备分析的全套需要。
详细信息
产品简介：椭偏在线监测装备针对LCD、OLED等新型平板显示量光学薄膜质量控制需要，专门设计的在线薄膜测量系统。可适用于空气、N2、真空等环境条件，自动实现玻璃基板上各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的全片快速扫描测量。椭偏在线监测装备广泛应用于工业中新型光电器件行业所涉及的PI配向膜、光刻胶薄膜、ITO薄膜、有机发光薄膜、有机/无机封装薄膜大基片各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的在线式全片快速扫描测量。
产品型号 | PMS 椭偏在线监测装备 | |||
主要特点 | 1、支持产线大基片自定义多点扫描测量并输出报告 2、支持大193-2500nm全波段分析测量 3、支持多椭偏方案，多组合集成 4、支持测头模块以及样件机台定制化 | |||
技术参数 | 测头规格 | 穆勒矩阵椭偏测头 | 光谱椭偏测头 | 反射膜厚测头 |
自动化程度 | 可变/固定角+ mapping | 可变/固定角+ mapping | 垂直角+ mapping | |
应用定位 | 高阶高精度型 | 高精度型 | 通用型 | |
单次测量时间 | 0.5-5s | 小于1s | ||
分析光谱 | 380-1000m(支持扩展至193-2500nm) | 380-1100nm | ||
Mapping行程 | 支持行程定制化 | |||
支持样件尺寸 | 安需定制化 | |||
