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SE-i 光谱椭偏仪 紫外光谱仪
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自动化设备
沈阳科晶自动化设备有限公司是由毕业于美国麻省理工学院的江晓平博士于
2000年5月创建。与合肥科晶材料技术有限公司、深圳市科晶智达科技有限公司同属于科晶联盟。自*SYJ-150低速金刚石切割机诞生以来，沈阳科晶便开始了以赶超国外同行、材料分析设备潮流为目标的发展历程。时至今日，已经拥有涵盖材料切割、研磨、抛光、涂膜、镀膜、混合、压轧、烧结、分析等领域以及相关耗材的上百种产品，可以满足晶体、陶瓷、玻璃、岩相、矿样、金属材料、耐火材料、复合材料、生物材料等制备分析的全套需要。
详细信息
产品简介：光谱椭偏仪SE-Vi是一款集成式原位光谱椭偏仪，针对有机/无机镀膜工艺研究的需要开发的原位薄膜在线监测中的定制化开发，快速实现光学薄膜原位表征分析。光谱椭偏仪广泛应用于金属薄膜、有机薄膜、无机薄膜的物理/化学气相沉积，ALD沉积等光学薄膜工艺过程中实际原位在线监测并实时反馈测量物性数据。
产品型号 | SE-i 光谱椭偏仪 |
技术参数 | 1、自动化程度：固定变角 2、应用定位：原位定制型 3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S等光谱 4、分析光谱：380-1000nm，支持按需定制化 5、单次测量时间：0.5-5s 6、重复性测量精度：0.01nm 7、入射角范围：65°（支持定制） |
