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SE-VM光谱椭偏仪 紫外光谱仪
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沈阳科晶自动化设备有限公司是由毕业于美国麻省理工学院的江晓平博士于
2000年5月创建。与合肥科晶材料技术有限公司、深圳市科晶智达科技有限公司同属于科晶联盟。自*SYJ-150低速金刚石切割机诞生以来，沈阳科晶便开始了以赶超国外同行、材料分析设备潮流为目标的发展历程。时至今日，已经拥有涵盖材料切割、研磨、抛光、涂膜、镀膜、混合、压轧、烧结、分析等领域以及相关耗材的上百种产品，可以满足晶体、陶瓷、玻璃、岩相、矿样、金属材料、耐火材料、复合材料、生物材料等制备分析的全套需要。
详细信息
产品简介：SE-VM 是一款高精度快速测量光谱椭偏仪。可通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量，快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析，适用于薄膜材料的快速测量表征。支持多角度，微光斑，可视化调平系统等高兼容性灵活配置，多功能模块定制化设计。
高精度椭偏测量解决方案；超高精度、快速无损测量；支持多角度、微光斑、可视化调平系统功能模块灵活定制；丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力。
广泛应用于镀膜工艺控制、tooling校正等测量应用,实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析。
产品型号 | SE-VM光谱椭偏仪 | ||
主要特点 | 1、采用高性能进口复合光源，光谱覆盖可见到近红外范围 (380-1000nm) 2、高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集 3、支持系列配置灵活，可根据不同应用场景支持多功能模块化定制 4、数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料 | ||
技术参数 | 1、自动化程度：手动变角 2、应用定位：通用型 3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R/T等光谱 4、分析光谱380-1000nm(可扩至210-1650nm) 5、单次测量时间：0.5-5s 6、重复性測量精度：0.01nm 7、光斑大小：大光斑2-3mm,微光斑200μm 8、入射角调节方式：手动变角 9、入射角范围：55-75°(5°步进),90° 10、找焦方式：手动找焦 11、Mapping行程：不支持 12、支持样件尺寸：大至180mm | ||
可选配件 | 1 | 温控台 |
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2 | Mapping扩展模块 |
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3 | 真空泵 |
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4 | 透射吸附组件 |
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