Zeta光学轮廓仪Zeta-600基础参数

型号：Zeta-600

产品：光学轮廓仪/表面轮廓测试系统/LED pss 图像处理设备

品牌：Zeta泽塔

简介：用于PCB/FPC自动计量解决方案

Zeta光学轮廓仪Zeta-600简介

zeta-600光学轮廓仪是一种全自动非接触、快速三维测量系统量身打造的PCB和FPC的需求。它可以处理高达610×510mm样品的各种应用，如孔、粗糙度、导线高度、V-CUT以及膜厚。基于专有的zdot™的zeta-600图像分析技术，对各类样品的表面特征：光滑到粗糙，低反射率，反射率高，透明到不透明。

zeta-600简单操作

zeta3d软件具有简单和直观的用户界面，数据采集和分析。工程师和运营商的一个简短的学习曲线，以更好的生产力。

zeta-600全自动和快速

全集成，全自动化，一键式计量解决方案。高分辨率的三维光学轮廓仪小于36秒，每测量。通孔、粗糙度、导线高度、V-CUT及膜厚不卸载样品和移动到一个新的工具的需要量

610mmx510mm样品的zeta-600最多可以处理610mmx510mm样品。它非常适合PCB/FPC计量需求。

Zeta光学轮廓仪Zeta-600技术规格

1 1 / 3“0.5X耦合摄像镜头

2 2 / 3“0.35X耦合摄像镜头

3静态重复性基于VLSI 0.94μm台阶高度标准，100X / 0.9n

目的，压阶段，与标准zdot成像模式

技术规格：zeta-600

尺寸（mm） 系统（宽）：1003 x 1003 x 1667

重量：500磅（278kg）

zeta-600操作规范

电压：100 - 230伏

电流：4A

操作温度：18-30°C，非冷凝，±°C每小时1

Zeta-600系统的特点

相机选项：1024x768 1280x960，1920x1440

放大倍数：25000x结合光学与数字

照明：两（2）超亮白光LED

机动化阶段：610×510mm XY旅游

Z轴行程：40mm

隔振：内置

真空（可选）：600毫米汞柱

Zeta-600性能规格

计量：＜36秒/网站（zdot™）

电影：每个网站~ 3秒（ZFT）

像素分辨率：0.09μ

民z-step：2 nm与压电阶段13纳米标准Z驱动

z轴分辨率：1Åzsi选项

13纳米标准zdot

±Z精度：0.5%

repeatability1：±30 nm（1σ）