Zeta-380/Zeta-380I光学轮廓仪概述

型号：Zeta-380/Zeta-380I

产品：光学轮廓仪/表面轮廓测试系统

品牌：Zeta泽塔

简介：zeta-380i系统是一个自动化的检测和计量包装，检查HBLED底物如图案化蓝宝石晶片的优化

Zeta-380/Zeta-380I晶圆检测和计量HBLED

的zeta-380i系统是一个自动化的检测和计量包装检验HBLED底物如图案化蓝宝石晶片的优化快扫描缺陷全英寸晶圆为小1μ米直径在2.5分钟。使用缺陷的地图审查与高分辨率的三维光学轮廓仪的缺陷，小于30秒每缺

Zeta-380/Zeta-380I简单的操作

简单的配方和缺陷检查结合自动缺陷审查使用缺陷地图文件

完成的zeta-380i包可以配置所有的软件和硬件需要全面的缺陷检测和分析–以及Zeta的证明光学技术测量和报告系统的尺寸检测- >检讨- >措施>分类

缩短过程反馈的前置时间，节省了宝贵的时间。的zeta-380i配备自动缺陷审查功能节省了时间和简化了缺陷分析

从zeta-380i 3D图像分析为大多数缺陷的答案。这减少了需要审查的耗时和昂贵的原子力显微镜或扫描电镜分析的缺陷的数量。

Zeta-380/Zeta-380I系统的特点

相机选项：640x480，1024x768 1280x960

放大倍数：35000x结合光学与数字

照明：三（3）超亮白光LED

机动化阶段：150mm×150mm XY旅游

Z轴行程：40mm

Zeta-380/Zeta-380I光学轮廓仪技术规格

Zeta-380/Zeta-380I缺陷检测

尺寸（mm）

系统（宽）：1000 x 860 x 840

计算机：381×457×102

监视器：596×449×240

总重量：145磅/ 65公斤

Zeta-380/Zeta-380I操作规范

电压：100 - 230伏

电流：4A

操作温度：18-30°C，非—

凝结，每小时1°C

1 1 / 3“0.5X耦合摄像镜头

2 2 / 3“0.35X耦合摄像镜头

3静态重复性基于VLSI 0.94μm台阶高度标准，100X / 0.9n

目的，压阶段，与标准zdot成像模式

Zeta-380/Zeta-380I性能配置

缺陷：150秒为一个完整的4英寸圆片

~ PSS计量：30秒/网站

三维缺陷审查：~ 30秒/站点的典型（zdot）

~ 10秒/网站zsi

像素分辨率：0.09μm 0.5X耦合器和100

民z-step：2 nm可压阶段

13纳米与标准Z驱动器

z轴分辨率：1Åzsi选项

13纳米标准zdot

repeatability3：7海里（1σ