Coat 500-双离子束溅射镀膜机 Coat 500 德国scia Systems-北京欧唐科技发展有限公司手机版

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简介

scia Coat 500双离子束溅射镀膜机，用于精密光学的大尺寸基板的高均匀性镀膜，菜单控制的沉积过程可保证镀膜质量的重复性。最多可以允许4种挡板，可以提高均匀性，也可以沉积设计的梯度薄膜。

常规属性

- 主离子源用于溅射靶材到样品基底上，沉积成膜；次离子源用于样品表面离子束轰击清洗或辅助镀膜。

- 可沉积介质和金属膜，用于光学滤波器、X射线反射镜、同步辐射镜等

- 可沉积渐变膜（比如Gobel 镜）

- 具有在线基底预处理（刻蚀、清洗、平滑化）功能

- 通过基板旋转与线性运动的叠加，可以获得的沉积均匀性

- 转鼓靶架上最多可有6个水冷靶材料，用于在线更换

- 使用石英晶振和/或光学厚度监视器（OTM），菜单式控制多层膜沉积

- 通过线性轴运动控制系统，可以实现梯度薄膜沉积或表面误差校正

- 可选衬底加热至250°C以优化薄膜应力

系统性能

产品简介

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