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模具超硬膜离子镀膜机是为模具镀硬质或超硬保护膜而设计的。真空镀膜机真空镀室的真空密封和室内运动部件的设计和用材,充分考虑可承受高温,配置多只高效圆形电弧蒸发源,或配多个矩形平面电弧蒸发源,也可配多只空心阴极枪,同时配置耐冲击的、具有优异灭闪弧性能的偏压电源,保证足够等离子体密度和反应活性,提高膜层致密性和结合力。
工件可三维运动,提高膜层均匀性,全自动控制提高工艺稳定性,可镀制 TiN、TiC、TiCN、TiAlN、TiAlCN、TiCrN、TiCrCN、TiAlCrN、多层超硬膜等,应用于精密模具业(冲压模具、剪切模具、标准件模具、成型模具等)、工具行业(钻头、硬质合金、铣刀、拉刀、丝锥和齿轮刀具等),汽车工业(活塞、活塞环、合金轮毂等)。
HCSH-380 | 有效空间 | 应用技术 | 靶材 |
Ø400x H450mm | CMARC | 2pcs×3 | |
生产周期 | 标准涂层 | 可选涂层 | |
3-5小时/炉 | TiN,CrN,AlTiN,AlCrN | TiCN,TiAlCrN,TiAlSiN | |
硬件 | 软件 | 产量/炉 | |
磁悬浮分子泵 等离子清洗 气体刻蚀 | 工业可编程系统 工业PC系统 专家远程诊断系统 | 洗刀 D4×50mm=864 D10×75mm=264 刀片 D18×5mm=1440 滚刀 D80×80mm=15 | |
HCSH-600 | 有效空间 | 应用技术 | 靶材 |
Ø600 x H500mm | CMARC | 2pcs×3 | |
生产周期 | 标准涂层 | 可选涂层 | |
4-6小时/炉 | TiN,CrN,AlTiN,AlCrN | TiCN,TiAlCrN,TiAlSiN | |
硬件 | 软件 | 产量/炉 | |
磁悬浮分子泵 脉冲偏压 HCD等离子刻蚀 | 工业可编程系统 工业PC系统 专家远程诊断系统 | 洗刀 D4×50mm=1920 D10×75mm=512 刀片 D18×5mm=3276 滚刀 D80×80mm=40 | |
HCSH-650 | 有效空间 | 应用技术 | 靶材 |
Ø650 x H750mm | CMARC | 4pcs×3 | |
生产周期 | 标准涂层 | 可选涂层 | |
3-6小时/炉 | TiN,CrN,AlTiN,AlCrN | TiCN,TiAlCrN,TiAlSiN | |
硬件 | 软件 | 产量/炉 | |
磁悬浮分子泵 脉冲偏压 等离子刻蚀 | 工业可编程系统 工业PC系统 专家远程诊断系统 | 洗刀 D4×50mm=4032 D10×75mm=880 刀片 D18×5mm=6400 滚刀 D80×80mm=64 | |
HCSH-900 | 有效空间 | 应用技术 | 靶材 |
Ø900 x H1200mm | CMARC | 6pcs×3 | |
生产周期 | 标准涂层 | 可选涂层 | |
5-8小时/炉 | TiN,CrN,AlTiN,AlCrN | TiCN,TiAlCrN,TiAlSiN | |
硬件 | 软件 | 产量/炉 | |
磁悬浮分子泵 脉冲偏压 等离子刻蚀 | 工业可编程系统 工业PC系统 专家远程诊断系统 | 洗刀 D4×50mm=8640 D10×75mm=2200 刀片 D18×5mm=1200 滚刀 D80×80mm=140 |
涂层种类 | 涂层名称 | 颜色 | 涂层成分 | 显微硬度 | 使用温度 | 摩擦系数 | 涂层厚度 |
氮化物陶瓷 | HAL | 黑色 | ALTiN | 3800 | 900 | 0.6 | 2.5±0.5 |
HAL Plus | 黑色 | ALTiN | 3800 | 900 | 0.6 | 4±0.5 | |
HAL Mini | 黑色 | ALTiN | 3500 | 900 | 0.6 | 1.5±0.5 | |
HAL B | 紫黑 | ALTiN | 3600 | 900 | 0.6 | 2.5±0.5 | |
HAR | 银色 | CrN | 2000 | 700 | 0.3 | 3±0.5 | |
HAT | 金黄 | TiN | 2400 | 600 | 0.5 | 3±0.5 | |
HAS | 古铜 | AlTiSiN | 3800 | 1000 | 0.4 | 3±0.5 | |
HATC | 灰色 | TICN | 3500 | 400 | 0.2 | 2±0.5 | |
HATC Plus | 古铜 | TICN | 3200 | 400 | 0.25 | 2±0.5 | |
HART | 金黄 | CrTiN | 2500 | 600 | 0.4 | 2.5±0.5 | |
HRA | 蓝灰 | AlCrN | 3500 | 1000 | 0.4 | 4±0.5 | |
HRAT | 灰色 | AlTiCrN | 3200 | 900 | 0.4 | 3±0.5 | |
DLC | HCC | 黑色 | CrN+W-C:H | 2200 | 300 | 0.2 | 2±0.5 |
HCMC | 黑色 | Cr+W-C:H+DLC | 1800 | 300 | 0.1 | 2±0.5 |
涂层 名称 | 低合 金钢 | 高合 金钢 | 不锈钢 | 铸铁 | 铜 | 青铜 | 铝合金Si<12% | 铝合金Si>12% | 木材 | 塑料 | 钻头 | 钻削 刀片 | 铣刀 | 铣削 刀片 | 车刀片 | 滚刀 | 插齿刀 | 滚插 刀片 | 丝锥 |
HAL Plus | A- | A | A- | A | A | A | A- | A | A | A | A | ||||||||
HAL Mini | A- | A | A | A | A- | ||||||||||||||
HAL B | A- | A | A- | A | A- | A- | A | A- | A- | ||||||||||
HAR | A | A | A | A | A- | ||||||||||||||
HAT | A | A | A | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | |||||||
HAS | A- | A- | A | A | A | A | |||||||||||||
HATC | A | A | A- | ||||||||||||||||
HATC Plus | A | A | A- | A | |||||||||||||||
HART | A | A- | A- | A- | A- | A | A | A | A | A | A- | A- | A- | A- | A- | ||||
HRA | A- | A | A | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | ||||
HRAT | A | A | A | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A | A | A | A | A | A | A | A | |
HCC | A | A | A- | A | A | A | |||||||||||||
HCMC | A | A | A- | A | A | A- | |||||||||||||
A:非常实用现有的材料或者加工环境 | |||||||||||||||||||
A-:亦可用在该材料和加工环境中 |
应用行业:精密模具业(冲压模具、剪切模具、标准件模具、成型模具等)、工具行业(钻头、硬质合金、铣头、拉刀、丝锥和齿轮刀具等),汽车工业(活塞、活塞环、合金轮毂等)。
广泛应用于发动机零部件,有色金属切削刀具,有色金属及不锈钢等成型冲压模具,滑动密封部件,半导体行业模具,注塑模具,纺织行业等。
塑料加工方面:
挤出成型
注塑成型
半导体行业:
晶片接触应用
定位系统使用的组件
方面:
气门组件
活塞配件
液压件/悬挂件/变速箱
汽车行业方面:底盘部件
制动元件
传动部件
发动机部件
工程方面:风力发电技术
航空技术
医疗技术