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DLC涂层真空镀膜机制备的DLC涂层(类金刚石涂层),具备质量稳定,与基体结合力好,耐磨性好,摩擦系数低,耐腐蚀性好等综合优良性能。广泛应用于发动机零部件,有色金属切削刀具,有色金属及不锈钢等成型冲压模具,滑动密封部件,半导体行业模具,注塑模具,纺织行业等。针对不同的行业,并根据客户不同的要求及材料,我们运用不同的工艺及制备方法,设计出相适应的DLC涂层真空镀膜设备,以满足客户的需要。
DLC涂层真空镀膜特点:
1、是一个很好的自润滑塑料加工应用涂层;
2、涂层特别致密,不起化学作用,沉积膜是1~3μm,硬度是2000HV~2500HV;
3、具有优异的摩擦磨损性能,耐高温350℃,并具有很高的耐粘接剂和磨粒磨损;
4、快速、可预见的脱模大大提高质量和生产率,是PECVD涂层塑料加工的。
DLC——美的类金刚石碳
涂层属性 | |
---|---|
涂层材料 | a-C:H |
微硬度* (HV 0.05) | > 2,000 |
对钢铁的摩擦系数*(干燥) | 0.1 - 0.2 |
工作温度 (°C) | 350 |
黑色 |
* 取决于应用和测试条件
HCDLC-380 | 有效空间 | 应用技术 | 靶材 |
Ø400x H450mm | CMARC | 2pcs×3 | |
生产周期 | 标准涂层 | 可选涂层 | |
3-5小时/炉 | TiN,CrN,AlTiN,AlCrN | TiCN,TiAlCrN,TiAlSiN | |
硬件 | 软件 | 产量/炉 | |
磁悬浮分子泵 等离子清洗 气体刻蚀 | 工业可编程系统 工业PC系统 专家远程诊断系统 | 洗刀 D4×50mm=864 D10×75mm=264 刀片 D18×5mm=1440 滚刀 D80×80mm=15 | |
HCDLC-600 | 有效空间 | 应用技术 | 靶材 |
Ø600 x H500mm | CMARC | 2pcs×3 | |
生产周期 | 标准涂层 | 可选涂层 | |
4-6小时/炉 | TiN,CrN,AlTiN,AlCrN | TiCN,TiAlCrN,TiAlSiN | |
硬件 | 软件 | 产量/炉 | |
磁悬浮分子泵 脉冲偏压 HCD等离子刻蚀 | 工业可编程系统 工业PC系统 专家远程诊断系统 | 洗刀 D4×50mm=1920 D10×75mm=512 刀片 D18×5mm=3276 滚刀 D80×80mm=40 | |
HCDLC-650 | 有效空间 | 应用技术 | 靶材 |
Ø650 x H750mm | CMARC | 4pcs×3 | |
生产周期 | 标准涂层 | 可选涂层 | |
3-6小时/炉 | TiN,CrN,AlTiN,AlCrN | TiCN,TiAlCrN,TiAlSiN | |
硬件 | 软件 | 产量/炉 | |
磁悬浮分子泵 脉冲偏压 等离子刻蚀 | 工业可编程系统 工业PC系统 专家远程诊断系统 | 洗刀 D4×50mm=4032 D10×75mm=880 刀片 D18×5mm=6400 滚刀 D80×80mm=64 | |
HCDLC-900 | 有效空间 | 应用技术 | 靶材 |
Ø900 x H1200mm | CMARC | 6pcs×3 | |
生产周期 | 标准涂层 | 可选涂层 | |
5-8小时/炉 | TiN,CrN,AlTiN,AlCrN | TiCN,TiAlCrN,TiAlSiN | |
硬件 | 软件 | 产量/炉 | |
磁悬浮分子泵 脉冲偏压 等离子刻蚀 | 工业可编程系统 工业PC系统 专家远程诊断系统 | 洗刀 D4×50mm=8640 D10×75mm=2200 刀片 D18×5mm=1200 滚刀 D80×80mm=140 |
涂层种类 | 涂层名称 | 颜色 | 涂层成分 | 显微硬度 | 使用温度 | 摩擦系数 | 涂层厚度 |
氮化物陶瓷 | HAL | 黑色 | ALTiN | 3800 | 900 | 0.6 | 2.5±0.5 |
HAL Plus | 黑色 | ALTiN | 3800 | 900 | 0.6 | 4±0.5 | |
HAL Mini | 黑色 | ALTiN | 3500 | 900 | 0.6 | 1.5±0.5 | |
HAL B | 紫黑 | ALTiN | 3600 | 900 | 0.6 | 2.5±0.5 | |
HAR | 银色 | CrN | 2000 | 700 | 0.3 | 3±0.5 | |
HAT | 金黄 | TiN | 2400 | 600 | 0.5 | 3±0.5 | |
HAS | 古铜 | AlTiSiN | 3800 | 1000 | 0.4 | 3±0.5 | |
HATC | 灰色 | TICN | 3500 | 400 | 0.2 | 2±0.5 | |
HATC Plus | 古铜 | TICN | 3200 | 400 | 0.25 | 2±0.5 | |
HART | 金黄 | CrTiN | 2500 | 600 | 0.4 | 2.5±0.5 | |
HRA | 蓝灰 | AlCrN | 3500 | 1000 | 0.4 | 4±0.5 | |
HRAT | 灰色 | AlTiCrN | 3200 | 900 | 0.4 | 3±0.5 | |
DLC | HCC | 黑色 | CrN+W-C:H | 2200 | 300 | 0.2 | 2±0.5 |
HCMC | 黑色 | Cr+W-C:H+DLC | 1800 | 300 | 0.1 | 2±0.5 |
涂层 名称 | 低合 金钢 | 高合 金钢 | 不锈钢 | 铸铁 | 铜 | 青铜 | 铝合金Si<12% | 铝合金Si>12% | 木材 | 塑料 | 钻头 | 钻削 刀片 | 铣刀 | 铣削 刀片 | 车刀片 | 滚刀 | 插齿刀 | 滚插 刀片 | 丝锥 |
HAL Plus | A- | A | A- | A | A | A | A- | A | A | A | A | ||||||||
HAL Mini | A- | A | A | A | A- | ||||||||||||||
HAL B | A- | A | A- | A | A- | A- | A | A- | A- | ||||||||||
HAR | A | A | A | A | A- | ||||||||||||||
HAT | A | A | A | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | |||||||
HAS | A- | A- | A | A | A | A | |||||||||||||
HATC | A | A | A- | ||||||||||||||||
HATC Plus | A | A | A- | A | |||||||||||||||
HART | A | A- | A- | A- | A- | A | A | A | A | A | A- | A- | A- | A- | A- | ||||
HRA | A- | A | A | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | ||||
HRAT | A | A | A | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A | A | A | A | A | A | A | A | |
HCC | A | A | A- | A | A | A | |||||||||||||
HCMC | A | A | A- | A | A | A- | |||||||||||||
A:非常实用现有的材料或者加工环境 | |||||||||||||||||||
A-:亦可用在该材料和加工环境中 |
广泛应用于发动机零部件,有色金属切削刀具,有色金属及不锈钢等成型冲压模具,滑动密封部件,半导体行业模具,注塑模具,纺织行业等。
塑料加工方面:
挤出成型
注塑成型
半导体行业:
晶片接触应用
定位系统使用的组件
方面:
气门组件
活塞配件
液压件/悬挂件/变速箱
汽车行业方面:底盘部件
制动元件
传动部件
发动机部件
工程方面:风力发电技术
航空技术
医疗技术