洁净室检测-静压差测试
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洁净室检测-静压差测试静压差的测定应在所有房间的门关闭时进行,有排风时,应在排风量条件下进行,并宜从平面上最里面的房间依次向外测定相邻相通房间的压差,直至测出洁净区与非洁净区、室外环境(或向室外开口的房间)之间的压差。 |
静压差的测定要求在洁净区内所有的门全部关闭的情况下进行。 测洁净区与室外时,注意刮风和朝向的影响。 在洁净室平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行,一直检测到直通室外。 |
洁净室检测-静压差测试 使用仪器 |
压差计灵敏度应小于1 Pa。 |
测试取点及方法 |
静压差的测定应在所有房间的门关闭时进行,有排风时,应在排风量条件下进行,并宜从平面上最里面的房间依次向外测定相邻相通房间的压差,直至测出洁净区与非洁净区、室外环境(或向室外开口的房间)之间的压差。 对于洁净度5级或优于5级的单向流洁净室,还应测定在门开启状态下,离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数 有不可关闭的开口与邻室相通的洁净室,还应测定开口处的流速和流向 |
注意事项 |
1压差值应符合被测对象压差控制标准的要求。 |
结果判定 |
不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa 洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa 洁净区与室外的压差不应小于10Pa |