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CentroTherm ACTIVATOR150激活炉

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准

2021-06-29 16:19:03: 270

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亚科电子（包括亚科电子（香港）有限公司、北京亚科晨旭科技有限公司等）

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产品简介

CentroTherm ACTIVATOR150激活炉

详细介绍

【产品简介】

centrotherm c.ACTIVATOR 150高温炉生产线，用于碳化硅（SiC）或氮化镓（GaN）器件的离子注入后退火c.ACTIVATOR 150有各种各样的版本可供作为研发与系列生产加热炉使用，具有很高的工艺灵活性。商先创公司的无金属加热设计使加工温度提高到2000°C，并缩短了加工周期时间。由于占地面积小，拥有成本低，c.ACTIVATOR 150有利于提高生产的成本效益。

【适用工艺】

·GaN和SiC晶圆的退火

·石墨烯的生长

【产品优点】

·激活效率高

·稳定可达2000℃的工艺温度

·支持2-6寸晶圆

·可批量处理5-50片晶圆

·升温速率可达100K/min

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