CentroTherm HORICOO300卧式热反应系统

CentroTherm HORICOO300卧式热反应系统

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2021-06-30 08:41:30
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产品简介

CentroTherm HORICOO300卧式热反应系统

详细介绍

【产品简介】
 
centrotherm c.HORICOO 300卧式批处理系统是世界上首先用于*的高产能的 300 mm晶圆加工平台。 设备平台由两个各含4层炉管的系统及一个自动化装置装载系统组成。加热系统包括5个双区加热单元，提供centrotherm出众的温度均匀性以及理想稳定的工艺。 centrotherm Hydrox系统同时支持干氧及湿氧工艺。支持高达1200°C高温工艺，其氧化和Drive-in工艺可促进研发更具有低界面陷阱密度（Dit）和高沟道迁移率的氧化物层。
 
【适用工艺】
 
·退火
·扩散
·氧化
·LPCVD
·PECVD
 
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