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CentroTherm VERTICOO200立式炉

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产品简介

CentroTherm VERTICOO200立式炉

【产品简介】

centrotherm c.VERTICOO 200为高批量生产和产能而设计，并具有高度的灵活性，适于所有的标准大气压与低压化学气相沉积工艺。优化的单管双舟传送系统，使搬运时间缩至最短，同时降低拥有成本与维修成本。

【适用工艺】

·退火

·氧化

·扩散

·LPCVD

【主要优点】

·每批加工量多达150片晶圆

·自对准

·双舟输送

·水冷加热匣

·占地面积小

·可以并排安装

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