EVG 320晶圆清洗系统
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亚科电子（包括亚科电子（香港）有限公司、北京亚科晨旭科技有限公司等）
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产品简介：
EVG 320是一款自动单晶圆清洗设备，采用兆声清洗在键合前对晶圆表面做清洗，提高键合质量。
主要特点及参数：
·可适用于12寸（300mm）晶圆
·FOUP-to-FOUP或Cassette-to-Cassette全自动运行
·采用1MHz兆声清洗头，有效去除＞1μm的颗粒
·最多可以配置4个清洗腔室
·机器人处理确保预对准精度
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