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HMDS预处理机H-2 智能HMDS真空烘箱
¥98989掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱
¥98690HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS预处理烘箱
¥188950光刻胶HMDS烘箱 HMDS疏水处理烘箱
¥112690HMDS烘箱专用真空泵,HMDS系统无油泵
¥35860光伏电池片HMDS处理系统,HMDS预处理烘箱
¥158709HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱无油泵 工业烘箱
¥28900HMDS专用烘箱,HMDS真空涂胶系统 工业烘箱
¥88900桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱 工业烘箱
¥1500HMDS增粘剂烘箱,HMDS涂胶机 工业烘箱
¥560碳化硅HMDS烘箱,SiC衬底HMDS烤箱 工业烘箱
¥98900HMDS烘箱真空泵,IDP10无油泵
¥35800HMDS增粘装置,涂敷HMDS增粘剂的装置用途:
HMDS增粘装置通过对箱体内预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,增加了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。
HMDS增粘装置,涂敷HMDS增粘剂的装置技术性能:
尺寸(深*宽*高):
内腔尺寸:300×300×300(mm)
外形尺寸:500×680×780(mm)
材质 :外箱采用优质不锈钢,内箱采用316L医用级不锈钢
温度使用范围: 80-200℃
温度分辨率: 0.1℃
温度波动度: ≤±0.5
真空度: ≤100pa(1torr)
洁净度: 设备采用无尘材料,适用100级光刻间净化环境
电源及总功率: AC 220V±10% / 50HZ , 总功率约2.5KW
控制仪表: 人机界面
搁板层数: 一层
HMDS控制: 可控制HMDS药液添加量
真空泵: 无油涡旋真空泵
HMDS增粘装置使用环境
安装设备使用空开电源,220V、3.0KW ;
工业用氮气纯度99.999%,压力0.2MP,Ø8mm软管快插接口;
尾气排放KF25阀接口;
周围无强烈电磁场影响,周围无强烈震动;
洁净车间,周围无高浓度粉尘及腐蚀性物质;
无阳光直接照射或其它热源直接辐射;
周围无强烈气流,当周围空气需要强制流动时,气流不应在直接吹到箱体上;
设备应放在坚固平稳的平面上,并使其保持水平状态;
环境温、湿度5℃~+35℃,相对湿度:≤85%;