掩膜版HMDS真空烘箱    hmds烤箱
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掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱

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具体成交价以合同协议为准
2024-08-08 11:06:09
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属性:
材质:不锈钢;加工定制:是;类型:真空;适用范围:半导体,电子,医疗,新材料;温度范围:200℃;
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产品属性
材质
不锈钢
加工定制
类型
真空
适用范围
半导体,电子,医疗,新材料
温度范围
200℃
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上海隽思实验仪器有限公司

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产品简介

掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱使基底表面由亲水性变为疏水性,增强表面的黏附性(HMDS-六甲基二硅胺烷)。适用于硅片、麟化铟、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料。

详细介绍

掩膜版HMDS真空烘箱    hmds烤箱应用原理

   掩膜版(Photomask),又称光罩、光掩膜、光刻掩膜版等,是微电子、集成光电子制造中光刻工艺所使用的图形母版, 由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形,并通过曝光将图形转印到晶圆上。

掩模版在设计时有着明场和暗场之分,在其与之光刻胶(正、负胶)曝光时可以根据工艺时的需要来选择设计。上文已经提到正光刻胶曝光区域被溶解,负胶则相反。

掩膜版主要由基板和遮光膜两个部分组成。基板分为树脂基板和玻璃基板,玻璃基板主要包括石英基板和苏打基板,根据遮光膜种类的不同,可以分为硬质遮光膜和乳胶。

掩膜版HMDS真空烘箱    hmds烤箱功能

 掩膜版HMDS真空烘箱  光罩hmds烘箱  hmds预处理烤箱使基底表面由亲水性变为疏水性,增强表面的黏附性(HMDS-六甲基二硅胺烷)。适用于硅片、麟化铟、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料。


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