六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理设备 工业烘箱

六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理设备 工业烘箱

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-11-03 08:37:49
2410
属性:
材质:不锈钢;工作室尺寸:450mm;功率:3.0;加工定制:是;类型:真空;适用范围:六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理;温度范围:250℃;
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产品属性
材质
不锈钢
工作室尺寸
450mm
功率
3.0
加工定制
类型
真空
适用范围
六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理
温度范围
250℃
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上海隽思实验仪器有限公司

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产品简介

六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理设备的作用是匀胶前衬底“增附”处理。在光刻中,通常会用到一些例如蓝宝石、氮化镓、砷化镓甚至是贵金属薄膜等衬底,这类衬底与光刻胶的粘附性往往不怎么理想,这会导致后续的光刻显影环节出现“裂纹”甚至是漂胶等问题。因此必须通过工艺手段改善,这个步骤我们叫做增附处理或者叫做助黏。

详细介绍

六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理设备的作用

    六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理的工艺是匀胶前衬底“增附”处理。在光刻中,通常会用到一些例如蓝宝石、氮化镓、砷化镓甚至是贵金属薄膜等衬底,这类衬底与光刻胶的粘附性往往不怎么理想,这会导致后续的光刻显影环节出现“裂纹”甚至是漂胶等问题。因此必须通过工艺手段改善,这个步骤我们叫做增附处理或者叫做助黏。

六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理设备的性能  


HMDS药液低液位报警:

自动吸取HMDS:

可自动添加HMDS:

HMDS药液泄漏报警:

HMDS气体管路加热系统:

参数记录功能:

温度与程序互锁功能:

容积大小:350*350*350/450*450*450/600*600*600(mm)可定制

温度范围:RT+10-250℃

真空度:≤133pa(1torr)       

控制系统;人机界面+PLC

搁板层数:2层

HMDS控制:可控制HMDS药液的添加量

真空泵: 涡旋无油泵


不正确的六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理方法
 如果液体的HMDS被直接旋涂在衬底上,HMDS层只能起到物理上的粘附层的作用,并不能改善粘附性;其次,HMDS层在前烘过程中释放出氨,从衬底附近的进入交联的光刻胶层中,从而抑制显影过程。

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