Trymax NEO200A系列自动干法去胶

Trymax NEO200A系列自动干法去胶

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具体成交价以合同协议为准
2021-06-30 08:31:36
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亚科电子(包括亚科电子(香港)有限公司、北京亚科晨旭科技有限公司等)

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产品简介

Trymax NEO200A系列自动干法去胶

详细介绍

【主要应用】
 
前道:Light Etching;Descum strip;PR Ashing;离子注入后,光刻后,镀膜前等工艺过程;
后道/*封装/3D IC:Descum Bumping;Plasma Treatment;Wafer Cleaning等。
 
【主要参数】
 
• 双Cassette
• 3轴机械手
• 单射频源配置(13.56MHz)
• 单微波源配置(2.45GHz)
• 双源配置(RF/MW)
• DCP双源(RF/RF)
• 适应wafer 100mm~200mm
 
 
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