隽思 品牌
生产厂家厂商性质
上海所在地
HMDS预处理机H-2 智能HMDS真空烘箱
¥98989掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱
¥98690HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS预处理烘箱
¥188950HMDS真空系统 HMDS预处理系统 图像反转烘箱
¥98960HMDS烘箱 图像反转系统 HMDS涂胶机
¥128950光刻胶HMDS烘箱 HMDS疏水处理烘箱
¥112690HMDS烘箱专用真空泵,HMDS系统无油泵
¥35860HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱
¥89600光伏电池片HMDS处理系统,HMDS预处理烘箱
¥158709HMDS烘箱,太阳能电池片HMDS烘箱
¥158709HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱无油泵 工业烘箱
¥28900HMDS专用烘箱,HMDS真空涂胶系统 工业烘箱
¥88900HMDS镀膜机
通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。
HMDS镀膜机
1)设备外壳采用医用级不锈钢304不锈钢材质制作,内胆为不锈钢316L材料制成;采用C型不锈钢加热管,均匀分布在内胆外壁,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置;采用钢化、防双层玻璃观察窗,便于观察工作室内物品实验情况。2)箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内保持高真空度。3)采用微电脑PID控制,系统具有自动控温,定时,超温报警等,采用LCD液晶显示,触摸式按钮,简单易用,性能稳定.4)智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序、温度、真空度及每一程序时间。5)HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,使真空箱密封性能*,确保HMDS气体无外漏顾虑。6)整个系统采用优质医用级316L不锈钢材料制作,无发尘材料,适用百级光刻间净化环境。
技术参数
1、设备名称 |
|
2、设备型号 | JS-HMDS90 |
3、设备主要技术参数 | |
3.1 工作室尺寸 | 450×450×450(mm) 可选其他数据 |
3.2 材质 | 外箱采用304不锈钢,内箱采用316L医用级不锈钢 |
3.3 温度范围 | RT+10-250℃ |
3.4 温度分辨率 | 0.1℃ |
3.5 温度控制精度 | ±0.3% |
3.6 真空度 | ≤133pa(1torr) |
3.7 洁净度 | class 100,设备采用无尘材料,适用100级光刻间净化环境 |
3.8电源及总功率 | AC 220V±10% / 50HZ 总功率约2.0KW |
3.9 控制仪表 | 人机界面 |
3.10搁板层数 | 2层 |
3.11 HMDS流量控制 | 可控制HMDS流量 |
3.11真空泵 | 油泵或干泵 |
3.12 保护装置 | 漏电保护,过热保护 |